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真空除气炉、真空存储柜的质保

设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，硅片除气装置生产厂家，均可独立工作。

设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括：（1）在正常情况下，在保修期间内非人为因素引起的一切设备质量问题和自然磨损；（2）备品备件清单，供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。（3）在保修期内由需方使用不当造成的维修，硅片除气装置，只收需方的材料费。

高真空除气炉的特点

科创鼎新公司生产的高真空除气炉，真空度可高达10-7Pa，可用于半导体硅片的除气以及红外芯片、气密性封装、航空航天芯片等其他电子产品的封装。

高真空除气炉特点：

①　极限真空度高；

②　控温精度高；

③　更高的升温速率；

④　更加智能化；

⑤　可真空去除产品空洞与气泡；

⑥　降低产品的氧化性；

⑦　提高工艺室的洁净度。

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm；

2. 极限真空度：2×10-5Pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，硅片除气装置品牌，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。