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背压法氦质谱检漏

采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，真空箱式氦检漏哪家好，浸泡数小时或数天，蒸发器氦检漏哪家好，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。

背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，电池氦检漏哪家好，否则由于密封腔体容积太大，天津氦检漏哪家好，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。

背压法的检漏标准主要有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，主要应用于各种电子元器件产品检漏。

真空系统和压力系统泄漏测试

真空系统和压力系统应在与其运行条件相同的条件下进行泄漏测试。真空系统用便携式检漏仪。检漏仪连接到真空泵的管路上。使用喷雾探针向潜在泄漏部位施加氦气。如果存在泄漏，氦会进入系统并迅速扩散。检漏仪应在几秒钟内做出反应。压力系统可以充入氦气或氦气和氮气的混合物。泄漏测试是通过使用嗅探器探针进行的。

氦检漏步骤

1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行

3、当”系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏(等待几分钟)

4、按'检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意:检漏口的压强不得超过10MPa，否则机器易损坏，

5、 数值稳定后，先记录下来，这就是. '本底”

6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，后关电源。