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发布时间:2022-03-21 03:49:00 作者:科创真空
喷氦法氦质谱检漏方法
这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷***喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时,氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后,由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力,因此只给出气体中氦的分压信号。氦气检漏试验的方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中。 在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
氦检漏有真空法和正压法,正压法又分吸法和累积法等,各种方法对应的设备类型和检测精度都不一样。关于问的在空气中已有氦气的问题,并不太影响精度,因为氦检漏是用对比法,先得有标准试样,然后用测量结果跟标准试样对比,来避免本底造成的误差。充注检漏气体前,试件必须抽空为正确试漏,在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的,特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。质谱仪有精度,到也跟测量方法非常相关。
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