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发布时间:2022-03-18 10:45:00 作者:科创真空
充注检漏气体前先检查大漏
在充注检漏气体前应快速测试是否存在大漏。否则,从大漏孔中溢出的检漏气体将污染试漏区。大漏孔的简易测试方法是将试件抽空,在短时间内观察是否保持抽空压强,如试件能保持抽空压强,则表明它不存在任何大漏孔,可充注检漏气体。
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正压法检漏
正压法检漏与负压法检漏相反,吸接在检漏仪的检测口,而被检件充入规定压力的示踪气体,漏孔泄漏出来氦气被吸吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济,而且检漏速度慢,一般采取正压检漏。
这种正压检漏法应注意事项:必须校准仪器的吸灵敏度,再向容器内充入比一个大气压高的氦气;第二有些容器是薄板结构,建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件;第三吸沿焊缝移动时速度不要太快,离开表面1mm左右,以保证吸入灵敏度,将探头做成喇叭口形效果更好。为试漏区配备足够的通风条件检漏气体氦/氢如果泄露,就会像气球一样飞到试漏区的室顶,并逐渐漂满整个试漏区。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
所谓的精度终指向的是--测试氦分压 (微观为个数,宏观则表现为在容器壁上的压力)(空气中5ppm氦气)
(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。
(2)真空法,氦本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内氦浓度*入口处压力,有很多外部条件。
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