蒸发器氦检漏设备诚信企业「科创真空」

真空箱式氦检漏系统

以下是科创真空为您一起分享的内容，锐诚真空公司***生产销售氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。3．压力哀减法(压差法)就是将被检工作，利用压缩机或压缩空气(一般1-3Mpa)连接进一个压力表，待充上气后，密封(确保封头不漏)，观察压力表24小时内压力降情况，如有漏则压力降低，但不能判断什么地方漏，漏多少。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

氦质谱检漏仪

检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。2充氦气回收单元充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪，本文主要真对氦质谱检漏仪原理及方法进行综述。