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真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。例如，径向轴封件，这种径向轴封件仅在一个方向有密封作用，相反方向将出现漏泄。其中真空喷吹法采用喷***的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

氦质谱仪的整体结构

质谱室

形象的说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。79J/(m·h·K)，在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K)，在标准状态下的动力粘度系数为1。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。

真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。

电气系统

氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

辅助真空系统的配置

在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。

标准漏孔

使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检，那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，氦质谱仪能通过自检，只是说明，氦质谱仪本身基本没有问题。但是，氦质谱仪是否准确？这个不确定。

氦检漏服务

氦质谱检漏技术是在真空检漏技术领域里应用广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高（可以检漏到10-12Pa·m3/s数量级）、仪器响应快、操作简便、成本较低、用途广泛等，所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。

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