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氦气检漏的原理

大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性氦气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以氦气经常被用来检漏。

其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，氦气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定质量，通常为氦气的质量，以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是氦气检漏的原理。切勿放空或溢出检漏气体至试漏区试漏中的可检漏率与检漏气体的本底浓度关系甚大，尽管检漏仪只检测检漏气体的浓度变化,高的本底浓度还趋于出现高的波动。

固定气体检测仪

这是在工业装置上和生产过程中使用较多的检测仪。它可以安装在特定的检测点上，对特定的气体泄漏进行检测。正压法的缺点是检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。固定式检测器在工艺和技术上更适合于固定检测所要求的连续、长时间稳定等特点。当然，它们同样要根据现场气体的种类和浓度加以选择，同时还要注意将它们安装在特定气体可能泄漏的部位，比如要根据气体的密度选择传感器安装的有效的高度等。

氦泄漏检测应用

氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。