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发布时间:2022-01-28 07:17:00 作者:科创真空
真空腔体
一般真空腔体内部是规则的长方体,用一面加热进行热辐射的方式热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间,所以效果不是很理想,.经过试验论证,采取在真空腔体内正上方、正下方、左侧面、右侧面各安装一套加热板加热的方法,采用面对面热辐射方式对腔体内部进行加热.
由于设备在真空状态下采用了上,下,左,右四面四路加热的方法,比单纯一路加热就要复杂多了,这也是温度控制的难点.因此采用PID来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以更好地控制真空腔体内的温度.
真空技术
真空技术应用领域的不断拓展促进了不同学科间的相互融合和交叉学科的诞生。在油泵的效果下,使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下,油雾与上升的气流相互效果吸附,混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。超高真空和高真空技术的进步推动了半导体、航天航空、能源等高技术产业的发展,为人类的可持续发展提供了保障。近些年,真空腔体、泵、阀门和密封件在增材制造、核聚变、粒子和集成电路等领域发展的带动下取得新的进展,支撑了重要理论验证和重大工程建设,催生了新的科研成果
真空检漏的具体方法
极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为:
①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。
②不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量氦气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。
③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。近年来,为了下降真空腔体的制造成本,选用铸造铝合金来制造腔体也逐步普及。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氦气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。
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