安徽避雷器氦检漏设备欢迎来电「科创真空」

气密性检测是确保产品质量，出产安全的重要工序，在出产过程中的效果现已收到了广泛认可，应用领域也越来越广。检漏设备能够广泛应用于各行业，可对各种有气密性检测要求的产品进行检测实验。

气密性检测可按测验手法分为两大类，一类为水没式走漏检测法，即在向工件腔内充进必定压力的气体时，将其浸人水中或涂肥皂泡，依据目测肥皂泡或水中的气泡来断定工件是否有漏及走漏的程度.现在,这种办法在冰箱、空调的密封管道以及箱体检漏时仍遍及选用。用氦气作为氦质谱检漏气体的原因1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这种办法测验功率低，受主观因素影响较大，无法定量丈量，一起用这种办法测验后，还有必要对工件进行枯燥和防锈处理。

检漏设备主要是用净化枯燥空气为作业介质对具有必定内容积的腔体的密封功能检测，亦能够选用串联、并联办法做其他检测。但不能够直接对气-液相二相流改组、气-固相二相流改组进行检测，不然有或许得出不正确的测验成果或许对仪器形成不行修正的危害。

检漏设备时刻参数的设定决议了检测节拍，应在满意检测需求的情况下尽量缩短，以进步功率。机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。充气时刻能够参阅检测曲线，一般设定为能到达设定压力后再添加1~2秒。平衡时刻调查直压面目一新率稳定在某个值后即可，检测时刻姑妄言之选用速率办法一般设定为能调查到显着压降曲线的时刻。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦质谱检漏仪

充氦法

的整体检漏就是可以用这种方法，将放入大型环模室中，利用环模设备的真空系统将环模抽成真空，先用辅助泵进行粗抽和预抽，在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后，将氦气充入中，压力保持和工作的压力一致，开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器，就可以直接测量的漏率了。氦质谱检漏原理氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。

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氦检漏设备

密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。想要了解更多氦检漏设备的相关内容，请及时关注科创真空公司网站。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。