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发布时间:2022-01-18 06:57:00 作者:科创真空
负压法检漏
负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,用喷连续向的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。
根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。举个例子,比如管壳的检漏。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。检漏仪正常工作后,用标准漏孔进行漏率校准,就可以对管壳作喷吹检漏,先将夹具固定在检漏口,待测管壳放在夹具上面的橡皮板上,辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。然后用喷连续向管壳喷氦气,时间一般1~3秒,当管壳存在漏孔时,氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分,漏量大小在漏率表上直接显示出来,这种方法既能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。整个检测周期只需一分钟。
氦质谱仪的整体结构
质谱室
形象的说,质谱室是氦质谱检漏的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,采用检漏仪吸***测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量,实现被检产品总漏率的测量。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。
真空系统
真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度,同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率,因此建立一个高真空系统是必要的。如果这些设备有漏点,那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节,该阀全开时检漏灵敏度高,因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度,系统中设置了标准漏孔。
电气系统
氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。
辅助真空系统的配置
在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
标准漏孔
使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检,那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢?其实不然,氦质谱仪能通过自检,只是说明,氦质谱仪本身基本没有问题。但是,氦质谱仪是否准确?这个不确定。
真空系统和压力系统泄漏测试
真空系统和压力系统应在与其运行条件相同的条件下进行泄漏测试。真空系统用便携式检漏仪。检漏仪连接到真空泵的管路上。使用喷雾探针向潜在泄漏部位施加氦气。然后取出被检产品,将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内,被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品总漏率测量。如果存在泄漏,氦会进入系统并迅速扩散。检漏仪应在几秒钟内做出反应。压力系统可以充入氦气或氦气和氮气的混合物。泄漏测试是通过使用嗅探器探针进行的。
氦泄漏检测应用
氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体,对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。
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