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真空腔体

化学抛光化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件,可以同时抛光很多工件，。化学抛光的问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的，而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。喷丸喷丸即使用丸粒轰击工件表面并植入残余压应力，提升工件疲劳强度的冷加工工艺。

1. 真空检漏基本概念

所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压流向低压侧的一种现象。真空系统

主要有以下几点:

虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象

2. 漏气的判断方法

1真空泵工作是否良好

2真空系统内是否存在严重放气  

3真空系统容器壁或间隙处是否漏气

4是否漏气与放气现象共存

3. 真空检漏法

1可动部分：传动轴及其密封部分  

2玻璃或陶瓷一类的易损部分

3波纹管

4使用法兰和垫圈的密封部分

5焊接部分的裂痕处  

维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；进气口与筒体成偏疼放置，尘土随气流旋转，因离心力效果而沉降在过滤器的底部。或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。