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氦质谱检漏仪故障与处理

内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择氦质谱检漏仪厂家的氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：(1)无害，不能对人体或环境造成伤害。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

氦质谱检漏仪

氦罩法

这种方法使用一个检漏罩（塑料薄膜等）把被检容器包起来，先排除罩内空气，然后充入氦气或氦气的混合气体，检漏仪与被检容器内部连接，当检漏仪有漏率显示时，说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和；总漏率不超标准值，则各个分漏率也不超标准值；总漏率超过标准值，则检查各个点的分漏率是否超过标准值。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹，这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。然后再对超过标准值的漏孔进行修补，直至达到合格标准为止。

大型压力容器在检漏时，经常使用辅助真空系统（辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵，真空管道，三通，真空计，真空阀门，放气阀门等组成）来进行预抽真空，真空度达到一定值时，关闭辅助真空系统，或使用真空切换阀，再开启检漏仪来进行检漏。

氦质谱检漏仪灯丝脆断故障

检漏技术在我国经济中占有非常重要的地位，被广泛应用于半导体、原子能、电力、航空、航天、、制冷、真空、汽车等行业。

氦质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，速度快、适用范围广，探索气体无毒性、无破坏性、质量轻等优点，是诸多检漏法中有效的方法。

氦质谱检漏仪在使用过程中，常见的故障就是灯丝脆断，氦质谱检漏仪灯丝多采用钨铼合金丝制作。因为纯钨丝高温使用发生再结晶以后变得很脆，再受到冲击或震动时极易断裂。原因是钨常在晶界面上孕育出微裂纹，这些微裂纹的扩展极易造成钨的碎断。主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同。而钨铼合金在变形过程中易形成孪晶，减少了堆垛层位错能量，降低位错移动的晶界阻抗，从而使位错迁移率增加，促使了钨的固溶软化，此现象称为“莱塑化效应”。该效应降低了氦质谱检漏仪灯丝在高温下的断裂的风险，铼浓度高时的塑化效应降低。