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试漏压力与运行过程中受到的较大压力相同

许多密封件是在一定的压力阈值下出现泄漏。如果未在运行过程的压力下试漏，那么一些漏孔则不宜检测出来。因此，在测漏过程中采用较高的测试压力，可有效检测出在实际运行中未出现的漏孔。

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氦质谱仪的整体结构

质谱室

形象的说，质谱室是氦质谱检漏的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置磁铁形成磁分析器的磁场。大漏孔的简易测试方法是将试件抽空，在短时间内观察是否保持抽空压强，如试件能保持抽空压强，则表明它不存在任何大漏孔，可充注检漏气体。

真空系统

真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。

电气系统

氦质谱仪电气部分的是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。

辅助真空系统的配置

在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。

标准漏孔

使用氦质谱仪的时候是否氦质谱仪能通过自检，那就认为这台氦质谱检漏仪是正常的呢？其实不然，氦质谱仪能通过自检，只是说明，氦质谱仪本身基本没有问题。但是，氦质谱仪是否准确？这个不确定。

为什么氦质谱仪要用外置标准漏孔标定

输入错误的内置漏孔漏率值，氦质谱仪自检时一般也能通过，说明氦质谱仪是对比性测试设备，氦质谱仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少，必须要有参照物——标注漏孔来确定。

因此，现有氦检漏相关标准中都详细规定了氦质谱检漏仪在使用前，使用过程中和使用后要正确使用标准漏孔进行标漏，才能保证氦检漏结果的正确性。

怎样进行氦气泄漏检测效果更好？

氦泄漏检测：氦检漏器也被称为质谱仪检漏器(MSLD)，用于定位和测量系统或包含设备的泄漏大小。示踪气体氦气被引入到与检漏仪相连的测试部件中。通过测试部件泄漏的氦气进入系统，测量该分压，并将结果显示在仪表上。

氦检漏仪由以下部件组成:检测氦质量的分光计。维持分光计压力的真空系统。一个机械泵，用于抽空待测零件。支持不同检测阶段的阀门:排空、测试和排气。监控输出信号的放大器和读出仪器。电源和控制。将待测零件连接到检测器的夹具。