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喷氦法氦质谱检漏方法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷***喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。如果在试漏后将检漏气体排放在试漏区内，那么在整个工作日内本底浓度将不断地增长。

氦质谱检漏方法

氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。充注检漏气体前先检查大漏在充注检漏气体前应快速测试是否存在大漏。

为什么氦质谱仪要用外置标准漏孔标定

输入错误的内置漏孔漏率值，氦质谱仪自检时一般也能通过，说明氦质谱仪是对比性测试设备，氦质谱仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少，必须要有参照物——标注漏孔来确定。

因此，现有氦检漏相关标准中都详细规定了氦质谱检漏仪在使用前，使用过程中和使用后要正确使用标准漏孔进行标漏，才能保证氦检漏结果的正确性。

氦检漏服务

氦质谱检漏仪技术在真空检漏领域里不仅能定位、定性、定量检漏，且具有操作简便、准确可靠、成本较低、用途广泛等特点。采用这种检漏技术无论从小件到大件从小系统到大系统检漏从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，都能准确快捷有效。随着氦质谱检漏技术的不断发展和成熟，未来将逐渐渗透到各个高低端行业领域应用前景广阔因此值得推广应用。保证试漏方向与使用中所受压力方向相同许多密封件有一个的安装方向，且仅在这个方向才能起到密封作用。