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真空腔体加工检漏的办法

一、真空封泥检测法

用真空泥封住的漏点，此时要注意观察真空度的改变，假如贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个办法在实际检测顶用的比较少

二、真空计检漏法

部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。一般来说，曲率半径大的电极接受击穿电压的能力比曲率半径小的大。用于电离计的示漏物质主要有氦，，酒精等。

真空腔体——实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。真空腔体真空技术主要包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用四个方面。

真空腔体

真空阀门是在真空管道系统中使用的真空系统组件或真空阀设备，可重定向气流，调整气流大小并切断或连接管道。阀门可以在现场进行手动和远程控制，也可以通过电动，电磁驱动（电磁阀）进动和液压控制。真空阀门是介质循环或压力系统中用于调节介质流量或压力的设备。但是，对于方形腔体，侧面的平板上要承受上吨的压力，必须通过增加壁厚或设置加强筋，才能防止变形。其功能包括断开或连接介质，控制流量，更改流量，更改介质流向，防止介质返回，控制压力或释放压力。真空阀门

真空阀门具有以下特征：

压力低于大气压，阀瓣压降不能超过1 kgf/cm2、介质的工作温度取决于设备的使用过程。通常，温度不超过-70？+ 150°C的范围。阀门（例如真空球阀）的基本要求是确保高度的连接密封以及紧凑的结构和垫片材料。

根据压力真空阀可分为4组：

1.低真空阀：中压p = 760？1mmHg；

2.中压真空阀：p = 1×10-3mmHg。

3.高真空阀：p = 1×10-4？1×10-7mmHg；

4.超高真空阀：p≤1×10-8mmHg。

真空阀门中真空波纹管截止阀是一种广泛使用的闭路阀，直径小于250毫米，阀杆线性运动。真空闸阀的限制更大，但这主要用于大直径的真空闸阀。有高真空蝶阀等。真空阀的关闭部分用橡胶密封圈或金属密封圈密封。波纹管真空截止阀的波纹管由不锈钢，黄铜，塑料和其他材料制成。影响真空绝缘水平的主要因素真空度显现了空隙击穿电压和气体压强之间的关系。小直径真空截止阀的关闭部分可用隔膜密封。高真空球阀可用于低和中真空。