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发布时间:2021-11-22 00:04:00 作者:科创真空
充注检漏气体前,试件必须抽空
为正确试漏,在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的,特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空,试件中的空气将被挤压至几何空间的终端,而检漏气体不可能进入这个部位,从而潜在的漏孔将仅释放空气,检漏仪则不能检测到这些漏孔。
如果采用低压力的检漏气体充注试件,抽空也是特别重要的,因为试件中残留的空气将稀释充注的检漏气体。例如:如果试件中残留大气压空气,充注添加一个大气压的检漏气体后,试件中的检漏气体浓度便降为50%,而如果充注添加两个大气压的检漏气体,检漏气体浓度则为66%。检漏气体测试前切勿使用水槽试漏检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管,如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中,这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满,而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因,会非常不易从小孔中驱逐,从而大大影响检漏结果。
切勿放空或溢出检漏气体至试漏区
试漏中的可检漏率与检漏气体的本底浓度关系甚大,尽管检漏仪只检测检漏气体的浓度变化, 高的本底浓度还趋于出现高的波动。如果在试漏后将检漏气体排放在试漏区内,那么在整个工作日内本底浓度将不断地增长。此外,在充注或排放中要确保无气体溢出,并定期检查连接件是否有漏。氦气检漏的原理大家都知道气分子内部结构稳定,化学性质并不活泼并且密度较小,由于这些特性氦气不会,也不容易和其他物质发生反应。
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氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
氦检漏有真空法和正压法,正压法又分吸法和累积法等,各种方法对应的设备类型和检测精度都不一样。关于问的在空气中已有氦气的问题,并不太影响精度,因为氦检漏是用对比法,先得有标准试样,然后用测量结果跟标准试样对比,来避免本底造成的误差。质谱仪有精度,到也跟测量方法非常相关。任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中,良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要。
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