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发布时间：2021-11-21 18:08:00 作者：科创真空
检漏气体测试前切勿使用水槽试漏
检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管，如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中，这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满，而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因，会非常不易从小孔中驱逐，从而大大影响检漏结果。解决这一问题的办法，只能通过漫长的干燥过程来排除这些水分。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。
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氦气在在半导体中的检漏作用
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10?11～10?12cm3/sec的小洞），灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。
氦气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
汽车氦检漏
充氦方式：箱内充氦待检工件：汽车空调冷凝器、蒸发器及管路真空箱数量：2个真空箱尺寸：1100（长）×550（宽）×250（高）mm，鸭嘴式自动开关门每箱可检工件数量：依据工件大小而定生产节拍：可依据客户要求而定氦气是否回收：是，设备带回收系统
双箱联动运行，每个真空箱可检多个工件真空箱翻盖式结构，自动开关箱门特殊设计的夹具与工件相匹配，满足不同工件的检测需要一体式设计，即整台设备安装在一个底座上，设备移位简单方便配备堵塞检测功能，判断工件是否有堵塞配备电脑及打印机，自动存储及打印检测数据适用于汽车空调蒸发器、冷凝器、管路的氦检漏方案
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