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氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

氦气检漏设备的特点和优点

说到氦气检漏设备的特点，首先，我们还需要注意***部件分子泵，使用***的检漏仪***的分子泵。美国AD放大器用于有效降低氦气检漏设备的噪声并提高氦气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于聚焦和高灵敏度。

氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性，检漏率范围广，可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝，寿命长，灵敏度高。 ***的三屏切换，信息替换更丰富，检漏更方便； 它具有快速氦气清洗功能和快速响应功能。

氦气检漏设备可实现一键归零； 采用全自动液晶触摸彩屏显示，实现智能自动化，操作更方便，简单可靠； 中英文菜单，菜单可以一键实现，实际使用效果突出。

检漏设备在检测时需要留意的事项

检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气***扫除洁净之后，其实也便是要撤除被测物。

否则的话，检漏设备的残留压力可能会形成财产损失或者是会使人受伤；检漏设备长期不必的时分，为了安全起见，必定要把主电源或者是空压源进行堵截。工艺流程编辑A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测。其电源电缆以及其配线和配管破损的时分，其实也便是要留意当即堵截咱们的主电源与空压源，这样其实也便是要替换它的新配件。

氦检漏设备

正压法

正压方法是首先用一种以上的大气压氦气或氦气的混合气体填充压力容器装置。2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。在压力容器装置的外部检测中，泄漏孔泄漏到外部氦气中，然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索氦气时，一旦氦气被吸入，氦气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下，由于压力容器装置的外部是一个大气压，充入压力容器装置的气压需要至少一个大气压或更多个大气压。然而，压力不应太高。如果压力过高，插入设备的压力表或其他插件会弹出，造成伤害和其他危险事故。