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发布时间:2021-11-19 17:09:00 作者:科创真空
压力容器氦检漏技术
什么是氦质谱仪?
专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是,当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后,如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直,它的运动轨迹为圆,不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹,这样,不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开,如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉,而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流,并经过放大器放大而被测量仪指示出来。真空法的优点是检测灵敏度高,可以,能实现大容器或复杂结构产品的检漏。检漏时,氦气进入检漏仪氦质谱室中,使仪器发生灵敏的反应,产生检漏的作用。
由于空气中氦气,氦质谱仪的本底电流及噪音也很少,因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响,这样可以测出极为弱小的讯号,从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体,具有分子小,质量轻,扩散快,穿透性强,响应快且稳定,加之不起化学作用,不污染工件,操作安全等特点,导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检漏技术)日益受到重视。氦气在在半导体中的检漏作用为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。
如何选择正确的气体检测解决方案
确认所要检测的气体种类和浓度范围
每一个生产部门所遇到的气体种类都是不同的。在选择气体检测仪时要考虑到所有可能发生的情况。其中正压吸***法采用检漏仪吸***对被检产品外表面进行扫描探查,可以实现漏孔的。如果和其它毒性较小的烷烃类居多,选择LEL检测仪无疑是为合适的。这不仅是因为LEL检测仪原理简单,应用较广,同时它还具有维修、校准方便的特点。当然在一些人员罕至、维护不方便的区域,或者可燃气泄漏(比如罐体内等密闭空间),采用红外可燃气体检测器不失为一种较好的选择。
氦泄漏检测应用
氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体,对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计,用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子。
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