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发布时间:2021-11-17 00:45:00 作者:科创真空
为试漏区配备足够的通风条件
检漏气体氦/ 氢如果泄露,就会像气球一样飞到试漏区的室顶,并逐渐漂满整个试漏区。纵然所有连接件是完全密闭的,但在连接或拆卸的过程中难免会释放少量的检漏气体。因此,为试漏区配备足够的通风条件是非常重要的。纵然所有连接件是完全密闭的,但在连接或拆卸的过程中难免会释放少量的检漏气体。由于两种检漏气体均有向上运动的趋向,建议从底部送入新鲜空气和从顶部排放气体至室外。
氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡,与室内气体碰撞,氦气泄漏进入室内,电离成正离子,正离子在加速电场的作用下进入人体磁场,当洛伦兹力效应偏转时,电弧形成,加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。 氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
氦检漏有真空法和正压法,正压法又分吸法和累积法等,各种方法对应的设备类型和检测精度都不一样。关于问的在空气中已有氦气的问题,并不太影响精度,因为氦检漏是用对比法,先得有标准试样,然后用测量结果跟标准试样对比,来避免本底造成的误差。氦气在在半导体中的检漏作用为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。质谱仪有精度,到也跟测量方法非常相关。
氦泄漏检测应用
生产零件的质量控制使用氦检漏仪的组件有助于确保生产过程的完整性。典型的例子包括:密封包装、阀门、歧管、密封件、真空容器和系统、、高纯度管道、制动管路、燃油管路、液压管路、制冷组件、散热器、热交换器、冷凝器、储罐。
系统维护
使用真空系统或压力系统的工业过程工具必须进行测试,以检查偶尔的泄漏。这可能是预防性维护的一部分,也可能是意外故障的一部分。真空系统的典型例子包括:真空炉、真空涂布机、电子显微镜、手套箱、线性、电子束和离子束加工设备、半导体加工设备、激光加工设备。如果试漏方向与使用中所受压力方向相同,将易于找到实际的漏孔而不至于受到报警的干扰。加压系统的典型例子包括:发电厂、气体处理系统、生物反应器、液化气设施、地下储罐、地下电缆和管道。
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