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氦质谱检漏原理

氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。真空箱式氦检漏系统概述本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统组件和电子学控制元件三大部分组成。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。检漏仪在质谱室中将气体电离,这些离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下发生偏转,由于不同荷质比的离子具有不同的电磁学特性，偏转半径各不相同，在挡板的作用下，氦检漏仪的收集板只允许带正电的氦离子被接收到，单位时间到达收集板的氦离子对应于一个电流信号，这个电流信号正比于进入到达收集板氦离子的数量，电流信号经过放大后显示在质谱仪的显示面板上，其大小反映了泄漏点的漏率，通过泄漏率大小来确定该位置泄漏程度的大小。

氦质谱检漏仪的示踪气体选用氦气,是因为氦气具有以下优良特性：

①氦气在空气中的含量少，体积含量为5.24×10-6，如果氦气在环境中的含量超过标准，可以比较容易地探测到极微量的氦气；

②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔、易于检测也易于清除；

③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；

④氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损伤任何设备；

⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。

今天科创真空小编和大家分享的是氦质谱检漏的工作原理，希望对您有所帮助！

真空箱式氦检漏系统

科创真空***生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。气密性要求：对于两器产品，充注一定压力R134a制冷剂，泄露量小于2克/年。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。

性能特点

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行***和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全

★ 氦气示踪安全环保。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影响。

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 危险，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低，所以很少采用。