江苏汽车零部件氦检漏仪器公司免费咨询 北京科创真空

氦质谱检漏仪

检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪，本文主要真对氦质谱检漏仪原理及方法进行综述。开门方式，可根据用户生产工艺要求来设计，一般为平开门式、滑台合箱式。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦检漏设备

密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。真空箱式氦检漏设备适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。

（1）对于压氦法，不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检环境大气氦分压显著升高，对于内腔有效容积大，且等效标准漏率小的密封器件，会加大测量漏率值，所以压氦结束后，被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。

对于预充氦法，地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现值，且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/ cm3 时，值点仍处于分子流范围，不能靠粗检法鉴别，所以需辅以压氦法复检，才能防止漏检。

（3）地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的特征点变大，从而扩大了需要辅以压氦法复检的范围，但第二特征点不变，也不影响压氦法复检的结果。