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真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点

真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统

1．配置与气路控制

真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。

工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。

真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。

2.系统检测过程

1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2

2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2

3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。

4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。

5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。

6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。

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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备  环网柜检漏设备

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系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。真空箱氦检漏及回收系统在汽车空调的应用二汽车空调两器检测要求1。自动判断，声光提示。

本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。

主要技术参数及要求：

1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱检漏真空≤20 Pa

9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱门开关方式：自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。检测节拍：多箱联动20S～60S/箱真空箱内腔尺寸：根据被检工件外形及尺寸定制。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

检漏设备在检测时需要留意的事项

检漏设备来讲，咱们其实也便是要留意，这个方面来讲，其实也便是能够快速的找出它的走漏点，其本钱来讲其实也便是会比较高，咱们的检漏设备其实也便是能够合适批量化作业；氦气检漏的主要参数及优势1、关键零部件***集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性。这个方面来讲的话，咱们其实也便是要留意，关于其检漏设备应该在无风状态下进行运用。

再者，咱们其实也便是要留意，关于检漏设备检测气密性的时分，首要来讲，其实也便是要留意制止呈现揉捏的现象，简略来讲，其实也便是要直接的制止其践踏仪器或者是直接的坐在仪器上，或者是在咱们的仪器上直接的摆放其他物品。