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发布时间:2022-09-05 19:18:00 作者:科创真空
氦质谱检漏用氦气的选择
氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003,分子直径为2.18×10-10m,分子的质量为3.65×10-27kg,在标准状态下的密度为0.1769kg/m3,临界温度为5.25K,临界压力为2.26×105Pa,1atm压力下的沸点为4.214K,熔点为0.9K,三相点温度为2.186K,三相点压力为51.1×10-2Pa,在标准状态下的热导率为510.79J/(m·h·K),在标准状态下的定压比热为5233J/(kg·K),在标准状态下的动力粘度系数为1.86×10-5Pa·s,1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。检漏仪在使用过程中,往往会因为产生的一些故障或是现象,而影响检漏工作的正常进度,若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。
***规定的瓶装氦气按纯度高低分别为工业用氦、纯氦、高纯氦三种。
1、工业用氦:氦含量≥99%,露1点≤43℃.
2、纯氦分三级:优等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高纯氦分为三级:优等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用,纯度要求不高,一般选用工业用氦,即氦含量≥99%,露1点≤43℃。
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氦质谱检漏仪热管检漏
热管
热管 (Heat Pipe) 是利用热传导原理与致冷介质的快速热传递性质,透过热管将发热物体的热量迅速传递到热源外,其导热能力超过任何已知金属的导热能力。热管技术目前广泛应用于计算机、各类电器等设备散热,常见的形状有圆管状,板块状 (VC 单体) 等。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。
热管需要检漏原因:
热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能,如果热管本身存在漏点,首先会影响热管的导热性能;三.氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法在压力容器中,使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),吸***法(正压法),氦罩法。其次由于热管都是安装在设备内部,如果发生泄漏,里面封装的液体就会流出,严重污染和影响设备的正常运转,所以热管生产企业,都会采用 氦质谱检漏仪对热管进行检漏。
热管检漏客户案例:某电子股份公司,是世界 IT 产业 500 强之一,分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地,***员工近 90000人。该企业是***较大的电源供应器制造商,市场占有率达 25% 以上。
热管检漏方法:
该企业热管出厂前标准漏率合格线是 E-8 mbarl/s,使用氦质谱检漏仪检漏时,设定 E-8 为报警值,当漏率低于该值时产品是合格的,当漏率高于此值,检漏仪发出声光警报,说明产品有漏。
热管采用检漏仪的真空检漏模式,因为产品没有抽真空的标准接口,上海伯东根据客户实际情况定制真空夹具,一头连接检漏仪,一头连接产品,具体做法如下:
1.启动氦质谱检漏仪,装上夹具
2.将热管插入夹具,并用真空封泥封堵
3.按下检漏仪启动键,开始抽真空
4.在产品周围喷氦气,以 E-8 mbarl/s 为合格线
氦质谱检漏仪
氦罩法
这种方法使用一个检漏罩(塑料薄膜等)把被检容器包起来,先排除罩内空气,然后充入氦气或氦气的混合气体,检漏仪与被检容器内部连接,当检漏仪有漏率显示时,说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和;因为如果有漏孔,氦气会从被检件物中漏出,造成较大浪费,而且氦气到处扩散,给检漏仪带来非常大的干扰。总漏率不超标准值,则各个分漏率也不超标准值;总漏率超过标准值,则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补,直至达到合格标准为止。
大型压力容器在检漏时,经常使用辅助真空系统(辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵,真空管道,三通,真空计,真空阀门,放气阀门等组成)来进行预抽真空,真空度达到一定值时,关闭辅助真空系统,或使用真空切换阀,再开启检漏仪来进行检漏。
检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。
2 本底信号不稳定
1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。
2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,检漏仪应有可靠的接地。
3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。
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