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北京科创鼎新真空技术有限公司

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重庆半导体真空腔体加工厂家信赖推荐「科创真空」

发布时间:2022-08-22 01:11:00        作者:科创真空

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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空腔体

真空腔体真空是指低于大气压力的气体的给定空间,真空是相对于大气压来说的,并非空间没有物质存在.

真空是物理学里面的一个概念,开始反映的是空无一物的状态.即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的,但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海,不断振荡并且充满着巨大能量.

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真空腔体加工的注意事项

真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。

超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270~900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用较广。

为了减小腔体内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。





真空腔体——实漏和虚漏

并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏,在使用检漏仪检漏前,有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。

真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物,在真空下持续的释放出气体,这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间,并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时,死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来,形成类似于放气或泄漏的现象,通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到,放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决,而虚漏一旦产生,很难被发现,需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺,如上图中的螺纹连接(一定要用的话可以使用空心螺栓),很长的狭缝或毛细管,两侧满焊的腔体焊接(较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊)等等。3、蒸汽脱脂清洗蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗。



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