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发布时间:2022-07-19 15:05:00 作者:科创真空
真空箱式氦检漏设备【验收标准】
由于真空箱式氦检漏系统是比较***的设备,所以需要用户进行验收,以免后期使用过程中产生问题,难以解决。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收,之后进行操作、维修等技术培训,验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收,以免延期因保管出现的产品质量问题。需要注意系统调试需要用测试工件。
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真空箱式氦检漏系统
以下是科创真空为您一起分享的内容,锐诚真空公司***生产销售氦检漏设备,欢迎新老客户莅临。
机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
氦检漏设备
密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。氦气检漏设备主要技术指标实际使用氦气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3/s。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系,并指出该关系对应的气流状态为分子流,文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉,就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法,在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而,实际上地球干洁大气中含有少量氦气;压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染,使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。因此,推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。
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