河南高压开关氦检漏设备生产厂家服务为先「科创真空」

用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。

2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

检漏设备在检测时需要留意的事项

运用检漏设备检测气密性的时分，留意不要随意拔下配管。想要了解更多氦检漏设备的相关内容，请及时关注科创真空公司网站。其在加压状态下，制止取下衔接仪器和减压阀之间的一个接头和配管。也正是由于如此，其很多的压缩空气吹出，这样来讲的话，其实也便是会对人形成很大的损伤；再者，其在反常状态下其实也便是要制止进行运用。

检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气***扫除洁净之后，其实也便是要撤除被测物。

半导体设备及材料需要检漏原因

1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；

2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；

3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。

4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。

氦质谱检漏仪

钟罩法

将氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率;这种方法可以测量液体储料罐的漏率，在罐体外罩氦罩采用塑料薄膜，对罐体进行粗抽和预抽，在用标准漏孔校对检漏仪，对氦罩进行充氦，就可以测出罐体的漏率

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