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真空腔体加工的注意事项

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。

超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用较广。

为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。

真空腔体

维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；然而，这个办法在实际检测顶用的比较少二、真空计检漏法部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

维修应注意哪些环节?

检验是个细致活，每个细节都不要落掉，更不能存在侥幸心理。有一台设备，用户存放4年了，做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空，怎么也达不到出厂标准，什么都查了，就是一根供气的真空胶管没查，当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反，问题就出在这根真空胶管上。2、电解侵蚀清洗电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等。

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