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发布时间：2022-06-13 03:57:00 作者：科创真空
氦质谱检漏仪故障与处理
定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷***咀流量小的喷***，提高定位的能力。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。③仪器的反应时间小于1 s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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氦质谱检漏仪的检漏方式有那些
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏的成本控制氦质谱检漏相对于其他的检漏方法，因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。
氦质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，氦质谱检漏仪可达1000Pa（一般常规检漏仪为0.05Pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸***检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝寿命长等优点。
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氦质谱检漏的成本控制
氦质谱检漏相对于其他的检漏方法，因使用抽真空机组及高纯氦气其经济成本居高不下。笔者在生产制造检测中摸索出一整套减少检测费用的方法，使氦质谱检漏具备了在板翅式换热器生产中大规模使用的可能。
检漏口真空度的控制
根据NB/T 47006 铝制板翅式热交换器中A.5 氦质谱检漏和JB/T 7261 铝制板翅式热换器中漏率要求，检漏口真空度一般要求为：1.33Pa。
在设计图样及供货合同中对检漏口真空度有明确要求的，按照其要求的检漏口真空度进行检测;如果没有要求，根据大量的检测经验，将检漏口真空度控制在1.0Pa-15Pa，这样的一个检漏口真空度并没有降低检测的准确性，但其抽真空所需的电费能减少20%-50%。一个带集热器的太阳能热电设备，可以使能源生产适应能耗和/或电网负荷。
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