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真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm；

2. 极限真空度：2×10-5Pa；

3. 加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；

4. 整体结构型式：泵箱一体，三个腔室；

5. 观察窗：每一个箱室均配一个Φ100观察窗，材质为石英玻璃，透光好；

6. 控制方式：一室一泵配置，自动保持真空，可手动独立控制工作；

7. 异常报警功能：具有自动监控各部分的运行状态功能，异常诊断报警，故障诊断，并停止设备运行的功能。

真空除气储存柜设备用途 

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成：真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空除气储存柜设备主要应用于金属材料与非金属材料的高真空热处理。主要应用行业与工艺：半导体硅片除气；3D打印金属工件与合金材料的高真空热处理；X射线管高真空除气。

真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸：定制

2、加热功率：30-80 KW（实际功率可调）

3、加热元件：钼片

4、隔热组件：钼+不锈钢

5、温度测量：S型热电偶

6、控温精度：±1℃

7、升温速率 ：由室温升至1000℃小于80min（空载）

8、加热室：采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制：采用PID智能控温模块设计，可编辑30+段升温曲线，存贮20+组工艺配方，组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，10寸液晶触摸屏显示操作，具有操作方便，功能强大，稳定性好等特点。

真空除气炉、真空存储柜的质保

设备是一种可以提供真空环境的储存设备，分为上中下三层箱室，均可独立工作。

设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括：（1）在正常情况下，在保修期间内非人为因素引起的一切设备质量问题和自然磨损；（2）备品备件清单，供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。（3）在保修期内由需方使用不当造成的维修，只收需方的材料费。