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北京科创鼎新真空技术有限公司

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硅片除气装置报价诚信企业「科创真空」

发布时间:2022-04-17 06:29:00        作者:科创真空

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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空除气储存柜的介绍

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。

具备以下主要功能:

1.对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. PLC控制,触摸屏操作。




硅片除气装置原理

工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体(氮气)破碎成大量的弥散气泡,并使其分散在铝液中;气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理,吸收熔液中的氢,吸附氧化夹渣,并随气泡上升而被带出熔液表面,使熔液得以净化;由于气泡细小弥散,与旋转熔液均匀混合,并随之转动呈螺旋形缓慢上浮,与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流,从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。




真空除气装置的泵和电机的安装

真空泵在安装前,先用手转动一下联轴器,以证实泵内是否有卡住及其它损坏现象,如无,将泵安装在泵座上。电机固定在泵座上以前,应校正电机轴与泵轴的同心度。因为电机轴和泵轴即使是较小的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损等后果。将直尺平行放在联轴器上,在整个圆周的任何位置都与联轴器圆周密合没有间隙,且联轴器的轴向间隙都相等时,则达到了所要求的同心度。



真空除气装置结构特点

1.利用真空泵的抽吸使泥浆进入真空罐内,并利用其使气体被抽出真空罐外,真空泵在此起了两种不同的作用。

2.水环式真空泵在工作过程中,始终处于等温状态下,适用于危险的气体抽吸,安全性能较可靠。

3.泥浆通过转子的窗口高速射向四壁,泥浆中的气泡破碎较底,除气效果好。

4.主电机偏置,整机中心降低。

5.采用皮带传动,避免了减速机构的复杂化。

6.汽水分离器的应用,不会造成水与气同时被排出,使排气管始终畅通。另外,还可循环向真空泵内里供水,节约了用水。

7.吸入管插入泥浆罐内,在泥浆无气浸的情况下,可作为大功率的搅拌器使用。



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