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发布时间:2022-03-27 05:01:00 作者:科创真空
真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品(以下简称工件)进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空,使工件内外压差不大0.04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。3、被检件检测前需要进行充分的清洁,同时要在充好气后再放入液体中,防止堵塞漏孔。然后将被检工件内的氦气回收循环使用,向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造,采用模块化的设计,充分考虑客户的检漏要求,同时也尽可能采用标准化的模块和部件,保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业,家用空调,制冷行业,汽车行业,新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能,微漏定量检漏功能,工件泄漏总的判定功能,并能满足连续生产的需求,具有较高的自动化程度,操作简便、安全、可靠。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
氦检漏设备
真空法氦质谱检漏:
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
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